光纤光谱仪通常采用光纤作为信号耦合器件,将被测光耦合到光谱仪中进行光谱分析。由于光纤的方便性,用户可以非常灵活的搭建光谱采集系统。光纤光谱仪的优势在于测量系统的模块化和灵活性。德国MUT的微型光纤光谱仪的测量速度非常快,可以用于在线分析。
光纤光谱仪原理
光栅的选择取决于光谱范围以及分辨率的要求。对于光纤光谱仪而言,光谱范围通常在200nm-2500nm之间。由于要求比较高的分辨率就很难得到较宽的光谱范围;同时分辨率要求越高,其光通量就会偏少。对于较低分辨率和较宽光谱范围的要求,300线/mm的光栅是通常的选择。如果要求比较高的光谱分辨率,可以通过选择3600线/mm的光栅,或者选择更多像素分辨率的探测器来实现。
光纤光谱仪价格
1、龙韵紫外线光纤光谱仪4500元。
2、晶飞紫外线光纤光谱仪3700元。
3、广州景颐光电科技有限责任公司石英光纤光纤光谱仪3000元。
4、闻奕光电高灵敏光纤光谱仪 10000元。
光纤光谱仪应用
1.LED测量
简单而且迅速地测量LED的整个光通量的方法就是使用一个积分球,并把它连接到一个美国海洋光学公司的光谱仪上。该系统可以用卤素灯进行定标(LS-1-CAL-INT),然后用广州标旗软件从测量到的光谱分布计算出相关参数,并实现辐射量的测量。所测光源的光谱发光强度还可以用μW/cm2/nm来计算、显示并存储。另外的窗口还可以显示大约10个参数:辐射量μW/cm2,μJ/cm2,μW或μJ;光通量lux或lumen,色轴X,Y,Z,x,y,z,u,v和色温。
2.薄膜厚度测量
美国海洋光学的膜厚测量系统基于白光干涉测量原理,可以测量的膜层厚度10nm-50μm,分辨率为1nm。
光纤光谱仪薄膜测量,在半导体晶片生长过程中经常被用到,因为等离子体刻蚀和淀积过程需要监控;其它应用如在金属和玻璃材料基底上镀透明光学膜层也需要测量膜层厚度。配套的广州标旗应用软件包括丰富的各种常用材料和膜层的n值和k值,可以实现膜层厚度的在线监测,并可以输出到Excel文件进行过程控制。